010 新型结构的涂胶显影设备
[摘要] 本发明涉及用以在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影工艺处理设备的结构。包括上下料组块、第一工艺组块、第二工艺组块、接口组块，第一工艺组块是由热处理工艺塔、覆涂模块、工艺机器人组成；第二工艺组块是由热处理工艺塔、显影模块、工艺机器人组成，所述的工艺机器人位于热处理工艺塔、覆涂模块或显影模块中间，所述的覆涂模块或显影模块堆叠设置，所述的热处理工艺塔中叠放有热处理工艺单元；本发明的优点及有益效果是：1.拓展性强；2.具有良好的可维护性；3.占地面积大大减小，减少了设备的投资成本。
004 涂胶显影设备的结构及晶片透递传输工艺方法
[摘要] 本发明涉及用以在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影设备的结构及晶片传输工艺方法，涂胶显影设备的结构是由平行的晶片盒站、盒站机器人、工艺墙、工艺机器人、工艺站组成的；半导体晶片的传输是通过透递传输方式穿过由多个工艺单元装置组成的工艺墙，晶片可以多口进入工艺墙，晶片也可以从工艺墙多口输出。本发明的设备结构满足了大规模、高产能涂胶显影工艺的生产要求，应用本发明的结构设备，占地面积小，有效地减少了环境对晶片在传输过程中的污染；透递传输工艺方式的实施对于多轨道叠加生产注入了强心剂，有效地减少了设备的投资成本，生产效率得以提高。
007 一种整车玻璃涂胶设备及其涂胶生产方法
[摘要] 本发明公开了一种整车玻璃涂胶设备，采用涂胶机器人并设涂胶头(3)，所述的涂胶头(3)安装在机器人第六轴(7)上，并由机器人第六轴(7)驱动对所述的待涂胶玻璃(2)进行涂胶作业，所述的涂胶头(3)上，设有距离传感器(5)。本发明还提供了整车玻璃涂胶设备所采用的涂胶生产方法。采用上述技术方案，可以补偿因玻璃状态、定位装置等外界因素变化而对机器人涂胶后胶形产生的影响，有利于对玻璃涂胶及整车的质量控制。
008 星型结构的涂胶显影设备
[摘要] 本发明公开一种在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影工艺处理设备的结构。设备由盒站模块、第一涂胶或显影模块、第二涂胶或显影模块、第一热处理模块、第二热处理模块、机器人组成；所述盒站模块是由2个盒站单元和1个对中调整单元组成；所述热处理模块是由热处理塔架和多个插装在塔架中的热处理单元体组成；所述的2个盒站单元、2个热处理模块、2个涂胶或显影模块分别设置在六边形的的六个边上，1个机器人在六边形中心。本发明具有技术拓展性好、可维护性高，并且成本低，投资小的特点。
012 全自动机器人涂胶平台
[摘要] 全自动机器人涂胶平台，包括机器涂胶臂和控制器及涂胶工位构成，涂胶工位均有顶盖放框定位和固定件的工夹具，机器涂胶臂设于一旋转底座上，在机器涂胶臂的旋转圆周上均匀设有三至六个涂胶工位。本实用新型是一种符合家电顶盖生产行业使用的全自动机器人涂胶平台。针对制造产品过程中，最容易出现质量问题的手工涂胶和热熔胶固化时间等主要环节进行自动化均衡操作，保同一规格产品的一致性和质量的稳定性。
003 超薄型空间太阳电池片涂胶封装一体化机器人
002 基于自动涂胶、人工安装的汽车风挡玻璃安装方法
001 涂胶系统玻璃翻转机构
018 小型智能涂胶机器人装置
014 双组份胶自动涂胶机
017 星型点阵结构的涂胶显影设备
013 涂胶系统玻璃翻转机构
011 涂胶显影设备的结构
009 涂胶显影设备的工艺墙
019 机器人涂胶机自动清胶装置
005 一种机器人涂胶定位系统
016 星型结构的涂胶显影设备
015 新型结构的涂胶显影设备
006 风挡玻璃机器人涂胶系统玻璃自动方法
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