蓝宝石圆片、LED衬底:
1.直径D:Φ1.00 – Φ180.00mm, 直径极限偏差0.005-0.02
2.厚度H:0.1 - 50.00mm, 厚度极限偏差+/-0.005
技术性能参数:
材料:优质人造蓝宝石单晶体(α-Al2O3≥99.99%)材料、BK玻璃材料
1.晶向:C、A、R
2.轴向:C轴偏差≤3°
3.表面粗糙度:Rz0.01
4.平面度:λ/B:633nm
5.面形精度:0.1λ
6.中心偏差:0.01mm
7.表面要求:双面抛光
8.表面质量:S/D:10/5 20/10 40/20 60/40 80/50
9.红外透过率:在633nm波长下>85%
蓝宝石方块:
1.晶向:C、A、R
2.外部尺寸:1×1×0.05-80×80×25;2×1×0.05-80×80×25
3.长宽公差:0.03-0.10;厚度公差:±0.02
4.表面粗糙度RZ0.01
5.表面质量:S/D:10/5 20/10 40/20 60/40 80/50
6.红外透过率:在633nm波长下>85%
7.平面度:λ/B:633nm
8.面形精度:0.1λ