科探仪器设备
此款PECVD系统是我公司研发的一款三温区1200℃的PECVD管式炉系统，1150℃可以长时间使用。它是由500W的射频电源，1200℃单温区管式炉和1200℃双温区管式炉、四通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个很好的实验帮手。
科探仪器设备研制触摸屏控制系统不但细化了烧结工艺，同时改善了用户的操作体验，使用户不再依靠繁琐难记的代码指令来操作，很好地用在了实验室热处理设备上！
1.设定数据和操作都是触摸屏图文界面，非常易于操作，简洁明了。
2.支持定时开机，定时关机。
3.支持外部真空规和压力变送器。
4.支持智能进气，根据需要设定不同的温度，自动进气，进气定时间到后自动停止进气。
5.支持云端数据存储，随时查看数据。
6.支持炉膛移动速度调节。
7.支持智能功能，射频电源启动后，定时完整，系统自动关闭。
8.支持真空恒定,真空值可以设定，保证系统安全。
9.支持正压恒定，压力值可以设定。
10.支持超压保护，最大压力值可以设定，超过后系统自动进入保护状态。
11.可以预设30条加热曲线，分配给30种不同烧结工艺的材料，需要时直接调用，互不干扰，无需重复修改温度参数
产品技术参数
1 | 产品名称 | 智能管式炉 |
2 | 产品型号 | BTE-PECVD1200-III4Z |
3 | 显示模式 | 7"液晶屏 |
4 | 极限温度 | 1200℃ |
5 | 工作温度 | ≤1150℃ |
6 | 升温速率 | 建议10℃/Min Max：30℃/Min |
7 | 炉膛模式 | 开启式炉膛 |
8 | 预热温区长度 | 15mm |
9 | 主温区长度 | 30mm |
10 | 预热温区移动 | 手动移动 |
11 | 主温区移动 | 自动移动，速度可以设定 |
12 | 设备高度 | 1400mm |
13 | 炉管长度 | 2000mm |
14 | 控温精度 | ±1℃ |
15 | 密封方式 | 快速法兰密封 |
16 | 温度曲线 | 30段"时间—温度曲线"任意可设 |
17 | 预存曲线 | 可预存30条温度曲线 |
18 | 超温报警 | 有 |
19 | 过流保护 | 有 |
20 | 断偶提示 | 有 |
21 | 测温元件 | s型热电偶 |
22 | 炉膛材料 | 氧化铝纤维 |
23 | 射频电源功率 |
24 | 信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
25 | 功率输出范围 | 5W-500W |
26 | 功率稳定度 | ±0.1% |
27 | 谐波分量 | ≤-50dbc |
28 | 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
29 | 整机效率 | >=70% |
30 | 功率因素 | >=90% |
31 | 冷却方式 | 强制风冷 |
32 | 真空部分 |
33 | 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
34 | 功率 | 500瓦 |
35 | 抽气速率 | 4L\\s |
36 | 进气口口径 | KF25 |
37 | 排气口口径 | KF25 |
38 | 转速 | 1450rpm |
39 | 噪音 | 55dB |
40 | 极限真空 | 4X10-2Pa |
41 | 气路系统 |
42 | 1,2,3,4气路采用DB07K系列
准确度：±1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa |
43 | 整机系统特色 |
44 | 正压测量 | -100Kpa---100Kpa |
45 | 真空测量 | -100Kpa |
46 | 超压保护 | 超压保护值可以设定 |
47 | 压力恒定 | 恒定压力值可以设定 |
48 | 智能气路 | 气路系���可以编程 |
49 | 气路定时 | 通气时间可以设定 |
50 | 射频工作时间设定 | 辉光放电时间可以设定，自动关机 |
51 | 移动速度调节 | 移动速度可以设定 |
52 | 系统真空度 | 5Pa |
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